LDI曝光機(jī)
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設(shè)備名稱：LDI曝光機(jī)
設(shè)備品牌：源卓
設(shè)備產(chǎn)能：8500m²/月
設(shè)備工藝：線寬精度±5um，層間對位精度±20um，外層對位精度±10um，解析度60um，曝光均勻性≥95%，自動(dòng)漲縮管控
設(shè)備優(yōu)勢：提高精細(xì)線路的制作能力，減少生產(chǎn)報(bào)廢，同時(shí)提升生產(chǎn)效率。
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