設(shè)備名稱:LDI曝光機(jī)
設(shè)備品牌:源卓
設(shè)備產(chǎn)能:8500m²/月
設(shè)備工藝:線寬精度±5um,層間對(duì)位精度±20um,外層對(duì)位精度±10um,解析度60um,曝光均勻性≥95%,自動(dòng)漲縮管控
設(shè)備優(yōu)勢(shì):提高精細(xì)線路的制作能力,減少生產(chǎn)報(bào)廢,同時(shí)提升生產(chǎn)效率。
4000-169-679
2020-12-21 02:32
設(shè)備名稱:LDI曝光機(jī)
設(shè)備品牌:源卓
設(shè)備產(chǎn)能:8500m²/月
設(shè)備工藝:線寬精度±5um,層間對(duì)位精度±20um,外層對(duì)位精度±10um,解析度60um,曝光均勻性≥95%,自動(dòng)漲縮管控
設(shè)備優(yōu)勢(shì):提高精細(xì)線路的制作能力,減少生產(chǎn)報(bào)廢,同時(shí)提升生產(chǎn)效率。
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